Изобретение относится к области приборостроения, а именно к способу изготовления меры толщины покрытия. Сущность: основание меры изготавливают плоской формы. Рабочую поверхность основания обрабатывают доводкой до значения отклонения от плоскостности, меньшего чем 1/3 требуемого значения погрешности меры. Наносят покрытие на центральную зону рабочей поверхности основания с предварительной изоляцией остальной части поверхности основания, а после нанесения покрытия изоляцию удаляют. Значение толщины покрытия определяют по профилограмме как длину перпендикуляра, проведенного от заданной точки профиля покрытия до базы измерения. Технический результат: повышение точности толщины покрытия и снижение трудоемкости изготовления. 1 ил., 1 табл.