JP 55113381 А, 01.09.1980. SU 1002825 A1, 07.03.1983. SU 609094 A1, 30.05.1978. RU 2170992 C2, 27.06.2000.
Имя заявителя:
Общество с ограниченной ответственностью "Микродатчик" (RU)
Изобретатели:
Локтев Дмитрий Викторович (RU) Зиновьев Дмитрий Валерьевич (RU)
Патентообладатели:
Общество с ограниченной ответственностью "Микродатчик" (RU)
Реферат
Изобретение относится к измерительной технике, более конкретно к устройству измерения перемещений, имеющих большое значение в робототехнике, прецизионных механизмах при эксплуатации сооружений и металлоконструкций и т.д. В качестве датчика перемещений используется кремниевый монокристаллический микронагреватель, а измеряемым сигналом служит величина тепловых потерь от микронагревателя к приемнику тепла. Микронагреватель имеет форму балки переменного сечения, широкая часть которой является резистором и содержит область противоположного типа проводимости, а узкая токовводами, в которых сформированы области низкоомного кремния и имеется силицидное покрытие, причем окончания токовводов выполняются в виде площадок для формирования на них металлических контактов. Величина перемещений находится в пределах 5-800 микрометров, точность измерения составляет ±20 нм. Технический результат - повышение точности и стабильности показаний датчика. 1 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента