Технологии в электронной промышленности. - 2007, 3, стр.82 - 88. Автометрия. - 1992, 6, стр.62-74. RU 2006791 С1, 30.01.1994. RU 2016379 С1, 15.07.1994. WO 0127557 А1, 19.04.2001. US 4999681 А, 13.03.1991.
Имя заявителя:
Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Новосибирский государственный технический университет" (RU)
Изобретатели:
Борыняк Леонид Александрович (RU) Непочатов Юрий Кондратьевич (RU)
Патентообладатели:
Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Новосибирский государственный технический университет" (RU)
Реферат
Изобретение может быть использовано для измерения деформаций плоских поверхностей элементов твердотельной электроники. Голографический интерферометр содержит источник излучения с коллиматором, объектив, исследуемый объект, фотопластину и промежуточную оптическую среду, размещенную между фотопластинкой и исследуемым объектом. Промежуточная оптическая среда выполнена в виде периодической структуры из выступов и впадин, которая может быть выполнена с периодом от 200 до 5000 мкм и с отношением стороны выступа к расстоянию между выступами 1:10. Технический результат - повышение точности измерения деформаций плоской поверхности элементов твердотельной электроники. 2 з.п. ф-лы, 8 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента