|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ КАЛИБРОВКИ ПЬЕЗОСКАНЕРА АТОМНО - СИЛОВОГО МИКРОСКОПА |  |
Номер публикации патента: 2179704 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | G01B001/00 G01B007/34 | | Аналоги изобретения: | RU 2121131 C1, 27.10.1998. FR 2074643 A, 08.08.1995. EP 0676614 B1, 11.10.1995. US 5245187 A, 02.09.1992. |
| Имя заявителя: | Институт кристаллографии им. А.В. Шубникова РАН | | Изобретатели: | Толстихина А.Л.
Белугина Н.В.
Гайнутдинов Р.В. | | Патентообладатели: | Институт кристаллографии им. А.В. Шубникова РАН |
Реферат | |
Использование: в материаловедении для исследования поверхностной структуры кристаллов и пленок. Сущность: сканируют зондом ступенчатую поверхность эталонного образца. По сравнению результатов сканирования со значениями параметров эталонного образца в управляющую программу микроскопа вводится поправочный коэффициент. В качестве эталонного образца используют кристалл триглицинсульфата (ТГС), сколотый по плоскости спайности (010). Технический результат: повышение точности, снижение трудоемкости и обеспечение высокой воспроизводимости тестовых структур. 3 ил.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента