|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СВЕРХВЫСОКОВАКУУМНАЯ ТРАНСПОРТНАЯ СИСТЕМА ДЛЯ СКАНИРУЮЩИХ ЗОНДОВЫХ МИКРОСКОПОВ |  |
Номер публикации патента: 2158454 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H01J037/26 F28F005/06 B23Q041/02 | | Аналоги изобретения: | Information of Park Scientific Instruments firm. 1994. SU 5157256, 20.10.1992. JP 1-216204 А, 30.08.1989. |
| Имя заявителя: | ЗАО "НТ-МДТ" | | Изобретатели: | Быков В.А.
Медведев Б.К.
Соколов Д.Ю. | | Патентообладатели: | ЗАО "НТ-МДТ" |
Реферат | |
Изобретение относится к нанотехнологическому оборудованию, к устройствам, обеспечивающим транспортировку и установку зондов и образцов в позиции измерения и функционального воздействия. В сверхвысоковакуумную транспортную систему для сканирующих зондовых микроскопов, содержащую линейный поворотный манипулятор с захватом, состыкованный с загрузочной камерой, кассету для носителей зондов и образцов с манипулятором, перемещающийся по оси установочный линейный манипулятор с захватом и измерительную к
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента