Изобретение относится к печам для обработки, в которые газ реагент вводится как часть этапа обработки газовой фазы, в частности к печам для процесса химической инфильтрации газовой фазы. Техническим результатом изобретения является обеспечение полной герметизации печи. Для достижения технического результата печь содержит корпус, в котором размещена реакционная камера (16), и газовую трубу (12) для подачи газа в печь, расположенную между наружной частью печи и внутренней частью печи и заканчивающуюся на одном конце, по меньшей мере, вблизи газовпускного прохода (14) в реакционной камере (16). Трубчатое уплотнительное устройство (32) расположено радиально снаружи относительно газовой трубы (12), причем трубчатое уплотнительное устройство прикреплено газонепроницаемым образом к первому концу газовой трубы (12) на участке внутренней поверхности печи вблизи участка, на котором газовая труба входит в печь, и проходит по направлению к участку вблизи газовпускного прохода (14), к которому указанное уплотнительное устройство прикреплено герметично, при этом трубчатое уплотнительное устройство (32) выполнено в виде обладающей поперечной и/или осевой гибкостью трубчатой оболочки, размещенной вокруг перехода между трубой (12) и проходом (14) и содержащей осевую часть (32а), выполненную гибкой, и осевую часть (32b), выполненную относительно жесткой. 2 н. и 5 з.п. ф-лы, 3 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента