US 6284312 B1, 04.09.2001. RU 2173354 C2, 10.09.2001. WO 9516803 A1, 22.06.1995. US 6228174 B1, 08.05.2001.
Имя заявителя:
МЕСЬЕ-БУГАТТИ (FR)
Изобретатели:
ЛАНВИН Лоран (FR) ЖУАННАР Филипп (FR)
Патентообладатели:
МЕСЬЕ-БУГАТТИ (FR)
Приоритетные данные:
25.04.2006 FR 0651455
Реферат
Изобретение относится к печам для химической инфильтрации из газовой фазы или химического осаждения из газовой фазы. Печь содержит наружный кожух, реакционную камеру, расположенную в кожухе, нагревательную систему и систему циркуляции газа-реагента. Наружный кожух печи и реакционная камера ограничивают первый объем между внутренней стороной кожуха печи и наружной стороной реакционной камеры и второй объем внутри реакционной камеры. Первый объем разделен на первую часть, образующую зону нагревания, в которой размещена нагревательная система, и вторую часть, в которой присутствует газ-реагент. При этом зона нагревания герметично изолирована относительно второй части. Печь дополнительно содержит систему циркуляции инертного газа, выполненную и размещенную с возможностью подачи инертного газа в зону нагревания со скоростью, обеспечивающей положительный перепад давления по отношению к давлению газа-реагента внутри второй части первого объема, в которой присутствует газ-реагент для препятствования прохождению потока газа-реагента в зону нагревания. Конструкция позволяет предотвратить контакт газа-реагента с нагревательной системой, что повышает надежность и долговечность устройства. 12 з.п. ф-лы, 2 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента