RU 2133928 C1, 27.07.1999. DE 20021644 U1, 02.05.2002. FR 2524618 A1, 07.10.1983. US 6587263 B1, 01.07.2003.
Имя заявителя:
Общество с ограниченной ответственностью "Гелиотерм" (RU)
Изобретатели:
Дьячишин Анатолий Сильвестрович (RU) Язвина Ирина Михайловна (RU) Стадник Алексей Владимирович (RU)
Патентообладатели:
Общество с ограниченной ответственностью "Гелиотерм" (RU)
Реферат
Изобретение относится к гелиотехнике и может быть использовано в солнечных коллекторах, применяемых для теплоснабжения и хладоснабжения жилых и промышленных зданий и установок. Многослойное селективное поглощающее покрытие предназначено для нанесения на внешнюю поверхность теплоприемной панели солнечного коллектора, преобразующего излучение Солнца в тепло. Покрытие состоит из первого слоя титана толщиной d1=0/4n1, второго слоя в виде окислов, карбидов или нитридов титана TiCxOy или TiNx, толщиной d2=0/2n2, третьего слоя в виде силицида титана TiSi толщиной d3=0/4n3, причем показатель преломления третьего слоя n3=(n2×n0)1/2, где 0 - длина волны, соответствующая максимуму спектра солнечного излучения, n0 - показатель преломления воздуха, n1 - показатель преломления первого слоя титана, n2 - показатель преломления второго слоя из TiCxOy или TiNx. Покрытие изготавливается способом напыления в высоком вакууме слоя титана, после чего в атмосфере СО2 или N2 при давлении (2,5-8)×10-2 Па производят реактивное распыление титана со скоростью, не превышающей 30Р2, где Р2 парциальное давление СО2 или N2, Па. В заключение, на обрабатываемую поверхность производят реактивное напыление силицида титана TiSi путем реактивного распыления титана в атмосфере паров моносилана при давлении (3-5)×10-1 Па. Покрытие обладает повышенной по сравнению с известными покрытиями эффективностью. Способ нанесения покрытия экологически безопасен и обеспечивает высокую производительность нанесения покрытия. 2 н.п. ф-лы, 1 ил.