|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| ВАКУУМНЫЙ ЩЕЛЕВОЙ КЛАПАН |  |
Номер публикации патента: 2337262 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | F16K003/18 | | Аналоги изобретения: | RU 2014535 C1, 15.06.1994. SU 767441 A1, 30.09.1980. RU 2059136 С1, 27.04.1996. SU 966373 А1, 15.10.1982. US 6913243 B1, 05.07.2005. US 6390448 B1, 21.05.2002. JP 10110834 A, 28.04.1998. |
| Имя заявителя: | Институт физики прочности и материаловедения Сибирское отделение Российской Академии Наук (ИФПМ СО РАН) (RU) | | Изобретатели: | Косицын Лев Григорьевич (RU)
Кузьмин Олег Станиславович (RU)
Соколов Александр Юрьевич (RU)
Яновский Владимир Павлович (RU) | | Патентообладатели: | Институт физики прочности и материаловедения Сибирское отделение Российской Академии Наук (ИФПМ СО РАН) (RU) |
Реферат | |
Изобретение относится к запорной аппаратуре и предназначено для использования в многокамерных установках молекулярно-лучевой эпитаксии, напылительных установках и других технологических системах, где для обеспечения технологического цикла необходим перенос пластинчатых изделий или кассет с подложками из одного вакуумного объема в другой.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента