JP 61-272375 A, 02.12.1986. RU 2076293 C1, 27.03.1997. RU 2265078 C1, 27.11.2005. SU 1482978 A1, 30.05.1989. SU 1812244 A1, 30.04.1993. JP 05-202467 A, 10.08.1993. US 6334751 A, 01.01.2002.
Имя заявителя:
УЛВАК, ИНК. (JP)
Изобретатели:
ИИДЗИМА Эйити (JP)
Патентообладатели:
УЛВАК, ИНК. (JP)
Приоритетные данные:
05.12.2005 JP 2005-351071
Реферат
Изобретение относится к вакуумному затвору для отделения камеры осаждения и части электронной пушки вакуумного устройства и может найти применение при производстве полупроводников, тонких пленок, жидких кристаллов и других изделий с тонкопленочными покрытиями. Корпус затвора (2) имеет отверстия, каждое из которых выполнено в боковых стенках, обращенных друг к другу. Затвор содержит задвижку (3) для открытия/закрытия отверстий, цилиндрический подвижный щиток (22), выполненный с возможностью введения через отверстие на стороне рабочей камеры в корпус затвора при открытии затвора и свободного совершения возвратно-поступательного перемещения между ними. Приемный элемент (21) расположен в отверстии на стороне части электронной пушки и контактирует с концевой частью подвижного щитка (22). Приводное средство обеспечивает возвратно-поступательное перемещение подвижного щитка (22). Концевая часть подвижного щитка (22) и приемный элемент (21) сведены близко друг с другом с помощью приводного средства для обеспечения герметичного отделения внутренней части подвижного щитка и внутренней части корпуса затвора друг от друга. Даже когда вакуумный затвор для вакуумного устройства, используемого в устройстве парофазного осаждения, находится в открытом положении, в камере парофазного осаждения обеспечена надежность сохранения вакуума путем защиты внутренней поверхности корпуса затвора и задвижки от паров осаждаемого из паровой фазы материала. 2 з.п. ф-лы, 7 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента