|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
| СПОСОБ ВЫСОКОВАКУУМНОЙ ОТКАЧКИ И НАСОС ДЛЯ ЕГО РЕАЛИЗАЦИИ |  |
Номер публикации патента: 95105038 |  |
| Вид документа: | A1 | | Страна публикации: | RU | | Рег. номер заявки: | 95105038 |
|
|
|
| Имя заявителя: | Институт радиотехники и электроники РАН | | Изобретатели: | Айтхожин С.А. |
Реферат | |
Изобретение относится к вакуумной технологии и может быть использовано в технологии электронных приборов, нанесении покрытий, в других исследовательских и технологических задачах, где требуются откачные устройства, создающие высокий вакуум. Технический результат изобретения - уменьшение загрязнений поверхностей рабочей камеры, уменьшение чувствительности насоса к откачке химически активных сред, расширение эксплуатационных возможностей, повышение скорости откачки. Для этого в способе высоковакуумной откачки, основанном на направленном ускорении молекул остаточного газа, включающем в себя предварительное и высоковакуумное разрежения, высоковакуумное разрежение достигается за счет направленного ускорения молекул остаточного газа поверхностной акустической волной, распространяющейся в направлении от откачиваемого объема в сторону более высокого давления. Согласно изобретению насос выполнен в виде ячеистой структуры из пьезокерамических пластин, в которых на сторонах, обращенных к рабочей камере, размещены генераторы поверхностных акустических волн, распространяющихся в сторону откачки остаточного газа. Насос выполнен в виде многоступенчатой ячеистой структуры с плотностью ячеек, растущей с повышением давления в каждой последующей ступени.
|
Поиск патентов