|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
| АДСОРБЦИОННЫЙ ВЫСОКОВАКУУМНЫЙ НАСОС |  |
Номер публикации патента: 94038953 |  |
| Вид документа: | A1 | | Страна публикации: | RU | | Рег. номер заявки: | 94038953 |
|
|
|
| Имя заявителя: | Акционерное общество криогенного машиностроения | | Изобретатели: | Алейник Ю.В.
Чубаров Е.В |
Реферат | |
Изобретение относится к вакуумной технике и может использоваться в различного рода откачном и течеискательном оборудовании. Позволяет сократить время откачки и повысить предельный вакуум при работе насоса в режиме криоадсорбционной ловушки за счет конструктивного удлинения пути молекул откачиваемых газов между развитыми адсорбирующими поверхностями, образующими форвакуумную полость 11 и собирающуюся с ней высоковакуумную полость 12. Для образования этих полостей применяется адсорбент 14 на сосуде 3 с хладагентом 4, охлаждаемые криопанель 7 с закрепленным с двух сторон адсорбентом 9 и 10 и стакан 5 с закрепленным адсорбентом 6. Направляемые в насос газы адсорбируются по мере продвижения по откачивающим полостям, а также трудноадсорбируемые газы, как гелий, водород, неон, поступают в полость корпуса 1 и откачиваются внешним высоковакуумным насосом. В результате обеспечивается низкое парциальное давление гелия и других газов уже при форвакуумном режиме откачки, что сокращает общее время вакуумирования, например, при выполнении течеискания масс-спектрометрическим методом. 2 з.п. ф-лы, 1 ил.
|
Поиск патентов