

	Главная Патентный отдел Технологии Справочник ГРНТИ Прием Наши координаты Обратная связь

Поиск патентов

Оформить заказ и задать интересующие Вас вопросы Вы можете напрямую c 6-00 до 14-30 по московскому времени кроме сб, вс. whatsapp 8-950-950-9888

Патентный отдел

На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента

Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»

Вернуться к списку

СПОСОБ УВЕЛИЧЕНИЯ ПРОИЗВОДИТЕЛЬНОСТИ ПРОЦЕССОВ ОСАЖДЕНИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК НА ПОДЛОЖКУ

Номер публикации патента: 2240377

Вид документа:	C1
Страна публикации:	RU
Рег. номер заявки:	2001130362/02

Получить полное описание патента

Редакция МПК:	7
Основные коды МПК:	C23C014/56 F04B037/04
Аналоги изобретения:	WO 9617171 A3, 06.06.1996. RU 2125619 С1, 27.01.1999. WO 9717542 A1, 15.05.1997.

Имя заявителя:	САЕС ГЕТТЕРС С.П.А. (IT)
Изобретатели:	КОНТЕ Андреа (IT) МАЦЦА Франческо (IT) МОРАЯ Марко (IT)
Патентообладатели:	САЕС ГЕТТЕРС С.П.А. (IT)

Реферат

Изобретение относится к процессам осаждения тонких пленок. Может применяться при производстве интегральных микросхем, носителей для хранения информации, плоских дисплеев и т.п. Предложен способ осаждения тонких пленок на подложку. Газопоглощающее устройство в активированном состоянии вводят во взаимодействие с рабочей газовой средой в вакуумируемой рабочей камере.

Вернуться к списку

Дирекция сайта "Промышленная Сибирь"
Россия, г.Омск, ул.Учебная, 199-Б, к.408А
Сайт открыт 01.11.2000
© 2000-2018 Промышленная Сибирь

Разработка дизайна сайта:
Дизайн-студия "RayStudio"