|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| АДСОРБЦИОННЫЙ ВЫСОКОВАКУУМНЫЙ НАСОС |  |
Номер публикации патента: 2094656 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | F04B037/02 | | Аналоги изобретения: | 1. Авторское свидетельство СССР N 868116, кл. F 04 B 37/02, 1979. 2. Авторское свидетельство СССР N 1000593, кл. F 04 B 37/02, 1981. |
| Имя заявителя: | Акционерное общество криогенного машиностроения | | Изобретатели: | Алейник Ю.В.
Чубаров Е.В. | | Патентообладатели: | Акционерное общество криогенного машиностроения |
Реферат | |
Использование: в вакуумной технике и различного рода откачном и течеискательном оборудовании. Сущность изобретения: позволяет сократить время откачки и повысить предельный вакуум при работе насоса в режиме криоадсорбционной ловушки за счет конструктивного удлинения пути молекул откачиваемых газов развитыми адсорбирующими поверхностями, образующими форвакуумную полость 11 и сообщающуюся с ней высоковакуумную полость 12. Для образования этих полостей применяется адсорбент 14 на сосуде 3 с хладагентом 4, охлаждаемые криопанель 7 с закрепленными с двух сторон адсорбентом 9 и 10 и стакан 5 с закрепленным адсорбентом 6. Направляемые в насос газы адсорбируются по мере продвижения по откачивающим полостям, а также трудноадсорбируемые газы, как гелий, водород, неон поступают в полость корпуса 1 и откачиваются внешним высоковакуумным насосом. В результате обеспечивается низкое парциальное давление гелия и других газов уже при форвакуумном режиме откачки, что сокращает общее время вакуумирования, например, при выполнении течеискания масс-спектрометрическим методом. 2 з.п. ф-лы, 2 ил.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента