US 6533554 B1, 18.03.2003. US 20080178658 A1, 31.07.2008. US 7572110 B2, 11.08.2009. JP 5280465 A, 26.10.1993. WO 2005090795 A1, 29.09.2005.
Имя заявителя:
Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Московский физико-технический институт (государственный университет)" (RU), Федеральное государственное бюджетное учреждение "Федеральное агентство по правовой защите результатов интеллектуальной деятельности военного, специального и двойного назначения" (ФГБУ "ФАПРИД") (RU)
Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Московский физико-технический институт (государственный университет)" (RU) Федеральное государственное бюджетное учреждение "Федеральное агентство по правовой защите результатов интеллектуальной деятельности военного, специального и двойного назначения" (ФГБУ "ФАПРИД") (RU)
Реферат
Изобретение относится к классу молекулярных газовых насосов, использующих эффект теплового скольжения газа вдоль неравномерно нагретых стенок для создания откачки. Насосы такого типа могут быть использованы для откачки газа из микроустройств или в микроаналитических системах, анализирующих малые объемы газов. Газовый микронасос содержит разделительные цилиндрические непрерывные трубки, состоящие по меньшей мере из двух чередующихся ступеней последовательно соединенных трубок малого и большого радиуса. Один конец трубок является горячей зоной, а противоположный - холодной зоной. Конструкция насоса состоит из чередующихся прямых трубок большого радиуса R и изогнутых трубок U-образной формы малого радиуса r. При этом трубки U-образной формы выполнены из материала аэрогеля, причем горячая и холодная зоны зона представляют собой силиконовые чипы цилиндрической формы, а поверхность силиконового чипа горячей зоны содержит золотую пленку. Газовый насос обладает большей эффективностью, чем его известные аналоги, за счет повышенного эффекта теплового скольжения в изогнутых U-образных трубках. Изогнутые трубки позволяют создавать более гибкие конструкции, уменьшая размеры насосов. 3 з.п.ф-лы, 10 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента