

	Главная Патентный отдел Технологии Справочник ГРНТИ Прием Наши координаты Обратная связь

Поиск патентов

Оформить заказ и задать интересующие Вас вопросы Вы можете напрямую c 6-00 до 14-30 по московскому времени кроме сб, вс. whatsapp 8-950-950-9888

Патентный отдел

На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента

Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»

Вернуться к списку

УСТРОЙСТВО ДЛЯ МИКРОВОЛНОВОЙ ВАКУУМНО - ПЛАЗМЕННОЙ С ЭЛЕКТРОННО - ЦИКЛОТРОННЫМ РЕЗОНАНСОМ ОБРАБОТКИ ПОВЕРХНОСТИ

Номер публикации патента: 2223570

Вид документа:	C1
Страна публикации:	RU
Рег. номер заявки:	2002127839/15

Получить полное описание патента

Редакция МПК:	7
Основные коды МПК:	H01J037/08 H05H001/46 H01L021/00 H01J037/32 C30B035/00
Аналоги изобретения:	US 5399830 А, 21.03.1995. RU 2106716 С1, 10.03.1998. RU 2120681 С1, 20.10.1998. JP 02119100 A, 07.05.1990. US 4915979 A, 10.04.1990.

Имя заявителя:	Кошкин Валерий Викторович
Изобретатели:	Кошкин В.В.
Патентообладатели:	Кошкин Валерий Викторович

Реферат

Использование: вакуумно-плазменная обработка потоками частиц поверхности материалов микроэлектроники, металлов и сплавов. Техническим результатом изобретения является создание устройства для ионной обработки поверхности материалов с высокой степенью однородности и значительным диапазоном плотностей потока частиц.

Вернуться к списку

Дирекция сайта "Промышленная Сибирь"
Россия, г.Омск, ул.Учебная, 199-Б, к.408А
Сайт открыт 01.11.2000
© 2000-2018 Промышленная Сибирь

Разработка дизайна сайта:
Дизайн-студия "RayStudio"