|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ОБРАБОТКИ И УЛУЧШЕНИЯ ПОВЕРХНОСТИ МАТЕРИАЛОВ ЛАЗЕРНЫМ ЛУЧОМ |  |
Номер публикации патента: 2206645 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | C30B033/04 | | Аналоги изобретения: | SU 1055784 А, 10.09.1999. US 4292093 А, 29.09.1981. US 4987286 А, 22.01.1991. РЖ "ЭЛЕКТРОНИКА", 1989, реф. №56283 КОМОЛОВ С.А. и др. Лазерная очистка поверхности кремния. Контроль методами электронной спектроскопии и лазерной десорбции. Письмо в ЖТФ. 1988, 14, №21, с.2004-2008. |
| Имя заявителя: | ГНЦ "Научно-исследовательский физико-химический институт им. Л.Я. Карпова" (RU) | | Изобретатели: | Бобонич Петр Петрович (UA)
Томашпольский Ю.Я. (RU)
Бобонич Эрик Петрович (UA)
Кудрявцев Михаил Евгениевич (UA) | | Патентообладатели: | ГНЦ "Научно-исследовательский физико-химический институт им. Л.Я. Карпова" (RU) |
Реферат | |
Изобретение относится к области материаловедения и может быть применено в производстве полупроводниковых приборов. Сущность изобретения: обработку поверхности материалов ведут в режиме модулированной добротности путем облучения поверхности лазерным лучом, сфокусированным в линию, длина l которой соизмерима с высотой поверхности, и сканируют им по поверхности с частотой колебания луча не выше 100 Гц, выбранной из соотношения где Q - суммарная плотность энергии лазерного луча при воздействии на по
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента