|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ПРЕДЭПИТАКСИАЛЬНОЙ ОБРАБОТКИ ПОДЛОЖЕК ИЗ ОКСИДОВ |  |
Номер публикации патента: 2010044 |  |
| Имя заявителя: | Научно-исследовательский институт материалов электронной техники | | Изобретатели: | Яремчук Л.Е.
Аносова Т.А.
Сендерзон Е.Р.
Пугачев В.А. | | Патентообладатели: | Научно-исследовательский институт материалов электронной техники |
Реферат | |
Использование: при обработке монокристаллических пластин из оксидов, в частности подложек из фианита, применяемых в производстве эпитаксиальных структур, преимущественно с соединениями ВТСП. Сущность изобретения: предварительную очистку подложек перед травлением заканчивают в кипящей смеси Каро, а травление проводят в концентрированной серной кислоте при температуре 250 - 270 С в течение 0,5 - 1,5 мин, после чего очистку повторяют.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента