|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ МНОГОЭЛЕМЕНТНОЙ ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИИ (ВАРИАНТЫ) |  |
Номер публикации патента: 2285069 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | C30B031/22 H01L021/265 | | Аналоги изобретения: | RU 2001127136 А, 20.07.2003. US 4716127 А, 29.12.1987. DE 2835121 А, 14.02.1980. JP 60187017 А, 24.09.1985. JP 58223699 А, 26.12.1983. СИМОНОВ В.В. и др. Оборудование ионной имплантации. - М.: Радио и связь, 1988, с.22-25, 47-49, 150-151. |
| Имя заявителя: | Объединенный институт ядерных исследований (RU) | | Изобретатели: | Дмитриев Сергей Николаевич (RU)
Реутов Валерий Филиппович (RU)
Ефремов Андрей Александрович (RU) | | Патентообладатели: | Объединенный институт ядерных исследований (RU) |
Реферат | |
Изобретение относится к области легирования твердых тел путем их облучения пучком ионов из фазообразующих атомов и может быть использовано для структурно-фазовой модификации твердых тел, например для улучшения их физико-механических, коррозионных и других практически важных свойств. Предложены два варианта реализации формирования на поверхности облучаемого объекта многоэлементного пучка при условии отличающихся не более чем на 10% для каждого из ионов величины отношения их массы к заряду.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента