На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ КОНЦЕНТРАЦИИ ЛЕГИРУЮЩЕЙ ПРИМЕСИ В ПОЛУПРОВОДНИКАХ ПОСЛЕ НЕЙТРОННО - ТРАНСМУТАЦИОННОГО ЛЕГИРОВАНИЯ | |
Номер публикации патента: 2208666 | |
Редакция МПК: | 7 | Основные коды МПК: | C30B031/20 | Аналоги изобретения: | Нейтронно-трансмутационное легирование полупроводников/Под ред. Дж. Миза, НФТТ, вып.11. - М.: Мир, 1982, с.145-168. SU 799523 А, 30.12.1981. DЕ 2753488 А, 07.06.1979. US 4348351 А, 07.09.1982. |
Имя заявителя: | Государственное предприятие Ленинградская атомная электростанция им. В.И.Ленина | Изобретатели: | Лебедев В.И. Черников О.Г. Горбунов Е.К. Шмаков Л.В. Козык М.П. Григорьев К.В. Фурсов А.Н. | Патентообладатели: | Государственное предприятие Ленинградская атомная электростанция им. В.И.Ленина |
Реферат | |
Изобретение относится к области радиационных технологий, преимущественно к нейтронно-трансмутационному легированию (НТЛ) полупроводников, и может быть использовано для определения концентрации легирующей примеси (т.е. стабильного дочернего изотопа), образующейся в результате облучения полупроводникового материала тепловыми нейтронами в ядерном реакторе с последующим радиоактивным распадом материнского изотопа, который сопровождается испусканием гамма-квантов, в частности, для НТЛ-кремния.
|