На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
СПОСОБ НЕЙТРОННО - ТРАНСМУТАЦИОННОГО ЛЕГИРОВАНИЯ КРЕМНИЯ | |
Номер публикации патента: 2193610 | |
Редакция МПК: | 7 | Основные коды МПК: | C30B031/20 C30B029/06 H01L021/263 | Аналоги изобретения: | RU 2089011 С1, 27.08.1997. RU 2008373 С1, 28.02.1994. RU 2145128 С1, 27.01.2000. US 4910156 А, 20.03.1990. DE 2617320 А1, 03.11.1977. |
Имя заявителя: | Государственное предприятие Ленинградская атомная электростанция им. В.И. Ленина,Закрытое акционерное общество Научно-производственное объединение "Энергоатоминвент" | Изобретатели: | Шевченко В.Г. Шмаков Л.В. Лебедев В.И. Чумаченко Г.А. Трунов В.А. Булкин А.П. | Патентообладатели: | Государственное предприятие Ленинградская атомная электростанция им. В.И. Ленина Закрытое акционерное общество Научно-производственное объединение "Энергоатоминвент" |
Реферат | |
Изобретение относится к технологии нейтронно-трансмутационного легирования (НТЛ) кремния при промышленном производстве на энергетических реакторах типа РБМК, широко применяемого в технологии изготовления приборов электронной и электротехнической промышленности. Сущность изобретения: в способе нейтронно-трансмутационного легирования кремния, включающем циклическое облучение нейтронным потоком по дозно-временному регламенту контейнера со слитком кремния в канале ядерного реактора с известным исходн
|