|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ НЕЙТРОННО - ТРАНСМУТАЦИОННОГО ЛЕГИРОВАНИЯ КРЕМНИЯ |  |
Номер публикации патента: 2193609 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | C30B031/20 C30B029/06 H01L021/263 | | Аналоги изобретения: | RU 2089011 C1, 27.08.1997. RU 2008373 C1, 28.02.1994. RU 2145128 C1, 27.01.2000. US 4910156 A, 20.03.1990. DE 2617320 A1, 03.11.1977. |
| Имя заявителя: | Государственное предприятие Ленинградская атомная электростанция им. В.И. Ленина,Закрытое акционерное общество Научно-производственное объединение "Энергоатоминвент" | | Изобретатели: | Шевченко В.Г.
Скибин В.Ф.
Счеславский В.П.
Дмитриев В.В.
Гарусов Ю.В.
Шмаков Л.В. | | Патентообладатели: | Государственное предприятие Ленинградская атомная электростанция им. В.И. Ленина
Закрытое акционерное общество Научно-производственное объединение "Энергоатоминвент" |
Реферат | |
Заявляемое изобретение относится к технологии ядерного легирования полупроводниковых материалов при промышленном производстве на энергетических реакторах типа РБМК, широко применяемого в технологии изготовления полупроводниковых приборов для электронной и электротехнической промышленности. Сущность изобретения состоит в том, что в способе нейтронно-трансмутационного легирования кремния, включающем облучение нейтронным потоком по дозно-временному регламенту контейнера со слитками кремния в канале
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента