|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ РЕГУЛЯРНЫХ СИСТЕМ НАНОРАЗМЕРНЫХ НИТЕВИДНЫХ КРИСТАЛЛОВ КРЕМНИЯ |  |
Номер публикации патента: 2336224 |  |
| Имя заявителя: | Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Воронежский государственный технический университет" (RU) | | Изобретатели: | Небольсин Валерий Александрович (RU)
Щетинин Анатолий Антонович (RU)
Дунаев Александр Игоревич (RU)
Завалишин Максим Алексеевич (RU) | | Патентообладатели: | Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Воронежский государственный технический университет" (RU) |
Реферат | |
Изобретение относится к технологии получения полупроводниковых наноматериалов и предназначено для управляемого выращивания наноразмерных нитевидных кристаллов кремния. Способ получения регулярных систем наноразмерных нитевидных кристаллов кремния включает подготовку кремниевой пластины путем маскирования ее поверхности фоторезистом, создания в нем отверстий, электрохимического осаждения в отверстия фоторезиста островков металла из раствора электролита и помещение подготовленной пластины в ростову
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента