На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
ПЛАВИЛЬНОЕ УСТРОЙСТВО ДЛЯ ВЫРАЩИВАНИЯ МОНОКРИСТАЛЛОВ КРЕМНИЯ ИЗ РАСПЛАВА | |
Номер публикации патента: 2241080 | |
Редакция МПК: | 7 | Основные коды МПК: | C30B015/10 C30B029/06 | Аналоги изобретения: | RU 2114938 С1, 10.07.1998. JP 52-035634 В, 10.09.1977. JP 57-170892 А, 21.10.1982. DE 4325522 С1, 17.11.1994. |
Имя заявителя: | Федеральное государственное унитарное предприятие "Научно-исследовательский институт Научно-производственное объединение "Луч" (RU) | Изобретатели: | Алексеев С.В. (RU) Баташов М.В. (RU) Макеев Х.И. (RU) Макеев М.Х. (RU) | Патентообладатели: | Федеральное государственное унитарное предприятие "Научно-исследовательский институт Научно-производственное объединение "Луч" (RU) |
Реферат | |
Изобретение относится к технологии получения кристаллов веществ с температурой плавления, превышающей температуру размягчения кварца, например кремния, для полупроводниковой промышленности методом Чохральского. Сущность изобретения: плавильное устройство для выращивания монокристаллов кремния из расплава состоит из кварцевого тигля, размещенного в графитовой подставке, жестко закрепленной на штоке.
|