|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ УПРАВЛЕНИЯ ПРОЦЕССОМ ВЫРАЩИВАНИЯ МОНОКРИСТАЛЛОВ ИЗ РАСПЛАВА И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ |  |
Номер публикации патента: 2184803 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | C30B015/20 C30B015/22 C30B015/12 C30B029/08 | | Аналоги изобретения: | RU 2128250 С1, 27.03.1999. SU 1116763 А, 30.11.1993. JP 62083395 А, 16.04.1987. JP 62105999 А, 16.05.1987. JP 59054694 A, 29.03.1984. |
| Имя заявителя: | ГП "Германий" | | Изобретатели: | Саханский С.П.
Подкопаев О.И.
Лаптенок В.Д.
Петрик В.Ф. | | Патентообладатели: | ГП "Германий" |
Реферат | |
Изобретение может быть использовано в полупроводниковом производстве для получения монокристаллических слитков германия. Сущность изобретения: устройство (фиг. 1) представляет собой микропроцессорную систему управления по выращиванию монокристаллических слитков германия по методу "Чохральского", на базе микроЭВМ 7, под управлением которой (в камере 12) производится выращивание монокристаллического слитка 13 (диаметром d) со скоростями вытягивания V3 и вращения 3 кристалла, при этом расплавленный
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента