На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИЙ SiC И СПОСОБ ЕГО ПОЛУЧЕНИЯ | |
Номер публикации патента: 2160327 | |
Редакция МПК: | 7 | Основные коды МПК: | C30B001/02 C30B029/36 C30B025/02 | Аналоги изобретения: | 1. JP 61-21196 A, 26.05.1986. 2. SU 327779 A, 04.06.1973. 3. JP 59203799 A, 17.11.1984. 4. MATSUNAMI HIROYUKI et al. Epitaxial growth of |
Имя заявителя: | Ниппон Пиллар Пэкинг Ко., Лтд. (JP) | Изобретатели: | Танино Кития (JP) Хирамото Масанобу (JP) | Патентообладатели: | Ниппон Пиллар Пэкинг Ко. Лтд. (JP) |
Реферат | |
Изобретение может быть использовано в полупроводниковой технологии для производства светодиодов, оптических элементов и т.д. Поверхность монокристаллической -SiC подложки 1 обрабатывается так, чтобы иметь шероховатость поверхности, равную или меньше, чем среднеквадратическое отклонение , и предпочтительно равную или меньше, чем среднеквадратическое отклонение .
|