На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИЙ КАРБИД КРЕМНИЯ И СПОСОБ ЕГО ПОЛУЧЕНИЯ | |
Номер публикации патента: 2160227 | |
Редакция МПК: | 7 | Основные коды МПК: | C01B031/36 C30B029/36 | Аналоги изобретения: | US 5279701 A, 18.01.1994. SU 136328 A, 24.05.1960. SU 167836 A, 15.02.1965. SU 1706963 A1, 23.01.1992. GB 1092582 A, 29.11.1967. GB 1115237 A, 29.05.1968. GB 1522293 A, 23.08.1978. US 4906324 A, 06.03.1990. US 5221801 A, 18.05.1993. DE 3938161 A1, 13.06.1990. |
Имя заявителя: | НИППОН ПИЛЛАР ПЭКИНГ КО., ЛТД. (JP) | Изобретатели: | ТАНИНО Кития (JP) | Патентообладатели: | НИППОН ПИЛЛАР ПЭКИНГ КО. ЛТД. (JP) |
Реферат | |
Изобретение предназначено для полупроводниковой техники и может быть использовано при получении полупроводниковых подложек для светоизлучающих диодов. На подложку - монокристаллический -SiC- наносят методом термохимического осаждения из паровой фазы поликристаллический слой -SiC. Температура осаждения 1300-1900°С.
|