|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ УГЛА РОСТА НИТЕВИДНЫХ КРИСТАЛЛОВ ПОЛУПРОВОДНИКОВ |  |
Номер публикации патента: 2111293 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | C30B029/62 | | Аналоги изобретения: | SU, авторское свидетельство, 1638217, кл. C 30 B 29/62, 1991. Щетинин А. и др. Влияние природы примесей на скорость аксимального роста нитевидных кристаллов кремния. Известия АН СССР. Сер.: Неорганические материалы. - 1987, 23, N 10, с. 1589 - 1592. |
| Имя заявителя: | Воронежский государственный технический университет | | Изобретатели: | Небольсин В.А.
Щетинин А.А.
Сушко Т.И.
Болдырев П.Ю. | | Патентообладатели: | Воронежский государственный технический университет |
Реферат | |
Изобретение предназначено для определения основного параметра кристаллизации при выращивании нитевидных кристаллов (НК) угла роста. Это достигается тем, что в процессе выращивания создают начальный конусовидный участок пьедестала кристалла, а угол роста &thetas;р определяют из формулы  , где r0 - начальный радиус пьедестала НК, r - конечный радиус пьедестала НК. 1 ил.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента