|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ЗОННОЙ ПЕРЕКРИСТАЛЛИЗАЦИИ ГРАДИЕНТОМ ТЕМПЕРАТУРЫ КРЕМНИЕВЫХ ПЛАСТИН НА ОСНОВЕ АЛЮМИНИЕВЫХ ЗОН |  |
Номер публикации патента: 2107117 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | C30B019/00 C30B019/08 C30B029/06 | | Аналоги изобретения: | 1. Лозовский В.Н. Зонная плавка с градиентом температуры. - М.: Металлургия, 1972, с. 87 - 118. 2. Лозовский В.Н. и др. Зонная перекристаллизация градиентом температуры полупроводниковых материалов. - М.: Металлургия, 1987, 232 с. 3. US, патент 4141757, кл. H 01 L 21/228. 1979. |
| Имя заявителя: | Новочеркасский государственный технический университет | | Изобретатели: | Лозовский В.Н.
Малибашева Л.Я.
Балюк А.В.
Малибашев В.А. | | Патентообладатели: | Новочеркасский государственный технический университет |
Реферат | |
Использование: изобретение относится к полупроводниковой технологии и может найти применение при изготовлении интегральных схем и полупроводниковых приборов. Сущность изобретения: способ включает перекристаллизацию в нестационарных тепловых полях двух - пяти градиентных нагревателей путем последовательного перемещения пластин кремния от одного нагревателя к другому без их выключения, причем первые один - два нагревателя поднимают температуру до 700 - 1200oС, а остальные - снижают до 1000oС, смену пластин проводят на смежных нагревателях при равенстве их температур, восстановление температуры нагревателей осуществляют в отсутствие пластин кремния, продолжительность цикла работы каждого нагревателя определяют по математической зависимости. 2 табл., 5 ил.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента