На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента

Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»

Вернуться к списку

СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ИСХОДНОГО ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ В ВИДЕ ШИРОКИХ ПЛАСТИН С МАЛОЙ КОНЦЕНТРАЦИЕЙ ФОНОВЫХ ПРИМЕСЕЙ

Номер публикации патента: 2222649

Вид документа:  C1  Страна публикации:  RU  Рег. номер заявки:  2001133338/15		Получить полное описание патента

Реферат

Изобретение относится к получению полупроводниковых материалов и может быть использовано для производства исходного поликристаллического кремния осаждением на нагретые основы в процессе водородного восстановления хлорсиланов или из газовой фазы моносилана. Сущность изобретения: способ включает размещение в реакторе химически инертной к пару или парогазовой смеси плоской основы с удельным сопротивлением в интервале от 110-3 до 50,0 Омсм, подачу потока пара моносилана или парогазовой смеси силана с

Вернуться к списку