RU 2209861 С2, 10.08.2003. RENE FRANCHY, Growth of thin, crystalline oxide, nitride and oxynitride films on metal and metal alloy surfaces, «Surface Science Reports", 2000, vol.38, no.6-8, p.p.195-294, abstract.
Имя заявителя:
Айтхожин Сабир Абенович (RU)
Изобретатели:
Айтхожин Сабир Абенович (RU)
Патентообладатели:
Айтхожин Сабир Абенович (RU)
Реферат
Изобретение относится к электронной технике, а именно к технологии материалов для создания устройств отображения и обработки информации. В качестве материала подложек для выращивания эпитаксиальных слоев нитрида галлия предложен ряд соединений - монокристаллы интерметаллидов, выбранные из группы, включающей силицид марганца (MnSi), силицид палладия (Pd2Si), станнат марганца (Mn3Sn), станнат железа (Fe3Sn), фосфид ванадия (VP), цирконид алюминия (Zr3Al) с умеренными температурами плавления. Преимущества этого класса соединений в сравнении с известными заключаются в повышении качества выращиваемых на подложках из указанных соединений пленок нитрида галлия.