|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| УСТРОЙСТВО ДЛЯ ВЫРАЩИВАНИЯ КРИСТАЛЛОВ КАРБИДА КРЕМНИЯ |  |
Номер публикации патента: 2341595 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | C30B025/00 C30B025/14 C30B029/36 | | Аналоги изобретения: | WO 0127361 А1, 19.04.2001. WO 9701658 А1, 16.01.1997. RU 2162117 С2, 20.01.2001. RU 2026896 С1, 20.01.1995. |
| Имя заявителя: | ЛПЕ СПА (IT) | | Изобретатели: | ВАЛЕНТЕ Джан Лука (IT)
ПОДЗЕТТИ Витторио (IT)
КОРДИНА Ольле (IT)
МАСИ Маурицио (IT)
СПЕЧИАЛЕ Натале (IT)
КРИППА Данило (IT)
ПРЕТИ Франко (IT) | | Патентообладатели: | ЛПЕ СПА (IT) |
Реферат | |
Изобретение относится к технике для выращивания кристаллов карбида кремния на подложках. Устройство содержит камеру (1), расположенную вдоль оси, причем камера (1) включает отдельные средства (2, 3) для входа газов, содержащих углерод, и для газов, содержащих кремний, средство для поддерживания подложки (4), расположенное в первой концевой зоне (Z1) камеры, средство для выпуска отработанных газов (5), расположенное вблизи средства для поддерживания (4), и средство для нагревания, обеспечивающее н
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента