На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
БУЛЯ НИТРИДА ЭЛЕМЕНТА III - V ГРУПП ДЛЯ ПОДЛОЖЕК И СПОСОБ ЕЕ ИЗГОТОВЛЕНИЯ И ПРИМЕНЕНИЯ | |
Номер публикации патента: 2272090 | |
Имя заявителя: | Кри, Инк. (US) | Изобретатели: | ВОДОУ Роберт П. (US) ФЛИНН Джеффри С. (US) БРАНДЗ Джордж Р. (US) РЕДУИНГ Джоан М. (US) ТИШЛЕР Майкл А. (US) | Патентообладатели: | Кри Инк. (US) |
Реферат | |
Изобретение может быть использовано в полупроводниковой технологии для получения були нитрида элемента III-V групп для создания микроэлектронных устройств на подложках, изготовленных из такой були. Сущность изобретения: булю нитрида элемента III-V группы можно получить путем выращивания материала нитрида элемента III-V группы на соответствующем кристалле-затравке из такого же материала нитрида элемента III-V группы путем эпитаксии из паровой фазы при скорости роста выше 20 микрометров в час.
|