|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПЛАСТИН И/ИЛИ ЛИСТОВ ФОЛЬГИ АНИЗОТРОПНОГО ПИРОЛИТИЧЕСКОГО НИТРИДА БОРА, ЛИСТ ФОЛЬГИ, ИЗГОТОВЛЕННЫЙ ЭТИМ СПОСОБОМ, ИЗДЕЛИЕ ИЗ АНИЗОТРОПНОГО ПИРОЛИТИЧЕСКОГО НИТРИДА БОРА В ВИДЕ ПАКЕТА ПЛАСТИН И/ИЛИ ЛИСТОВ ФОЛЬГИ И СПОСОБ ЕГО ПОЛУЧЕНИЯ |  |
Номер публикации патента: 2179204 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | C30B029/38 C30B025/02 C30B025/14 C30B029/64 C01B021/064 | | Аналоги изобретения: | US 3310375 A1, 21.03.1967. ШАРУПИН Б.И. и др. Структура и свойства пиронитрида бора /В сб. "Химическое газофазное осаждение тугоплавких неорганических материалов". - Л.: ГИПХ, 1976, с. 73, 93. US 2034642 C1, 10.05.1995. RU 2061113 C1, 27.05.1996. EP 0504960 A1, 23.09.1992. US 5011790 A1, 30.04.1995. US 4551195 A1, 05.11.1985. DE 4423987 A1, 12.01.1995. ШАРУПИН Б.Н. и др. Свойства пиротехнического ромбоэдрического нитрида бора. - Неорганические материалы, т. 32, № 6, 1996, с. 690. |
| Имя заявителя: | Общество с ограниченной ответственностью "ВИРИАЛ" | | Изобретатели: | Шарупин Б.Н.
Тупицина Е.В.
Осмаков А.С.
Маметьев Р.Ю. | | Патентообладатели: | Общество с ограниченной ответственностью "ВИРИАЛ" |
Реферат | |
Изобретение относится к технологии изготовления изделий из высокотемпературных диэлектрических, электроизоляционных материалов и технологии их получения методом химического осаждения из газовой фазы для изготовления различных деталей для СВЧ-техники и интегральных микросхем. Сущность изобретения: пластины и/или листы фольги нитрида бора получают путем образования на подложке в реакторе пакета, содержащей параллельные слои нитрида бора, путем неоднократного чередования процесса химического осаждения нитрида бора из газовой фазы при взаимодействии трифторида бора и аммиака и процесса обработки поверхности осажденного слоя нитрида бора в течение не менее 15 мин при тех же температуре и давлении газообразным агентом, пассивирующим активные центры кристаллизации поверхности образовавшегося слоя нитрида бора с образованием границы раздела, а затем образовавшийся пакет механически расщепляют по границам раздела на пластины и/или листы фольги. В качестве газообразного агента используют аммиак, азот, водород, метан, гелий, аргон, их смеси. Изобретение позволяет получить пластины, листы фольги и изделия из нитрида бора с повышенной прочностью на пробой ( 300-400 кВт) и упростить технологию их изготовления. 4 с. и 16 з.п. ф-лы, 2 ил., 2 табл.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента