

	Главная Патентный отдел Технологии Справочник ГРНТИ Прием Наши координаты Обратная связь

Поиск патентов

Оформить заказ и задать интересующие Вас вопросы Вы можете напрямую c 6-00 до 14-30 по московскому времени кроме сб, вс. whatsapp 8-950-950-9888

Патентный отдел

На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента

Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»

Вернуться к списку

СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ИСХОДНОГО ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ В ВИДЕ ПЛАСТИН С БОЛЬШОЙ ПЛОЩАДЬЮ ПОВЕРХНОСТИ И КАМЕРА ДЛЯ ОСАЖДЕНИЯ КРЕМНИЯ

Номер публикации патента: 2158324

Вид документа:	C1
Страна публикации:	RU
Рег. номер заявки:	99123011/12

Получить полное описание патента

Редакция МПК:	7
Основные коды МПК:	C30B029/06 C30B025/00 C30B025/14 C30B025/18
Аналоги изобретения:	DE 2541284 A1, 24.03.1977. GB 1560983 A1, 13.02.1980. RU 2010043 C1, 30.03.1994. RU 2095495 A1, 10.11.1997. US 4370288 A1, 25.01.1983. WO 96/17969 A2, 13.06.1996.

Имя заявителя:	Закрытое акционерное общество "Панджшер-Холдинг"
Изобретатели:	Добровенский В.В. Канатаев Ю.А. Юлин М.К.
Патентообладатели:	Закрытое акционерное общество "Панджшер-Холдинг"

Реферат

Изобретение относится к области получения полупроводниковых материалов и может быть использовано для производства исходного поликристаллического кремния в процессе его осаждения из пара или парогазовой фазы силанов на нагретые основы. Технический результат - повышение производительности и рентабельности, снижение стоимости процесса.

Вернуться к списку

Дирекция сайта "Промышленная Сибирь"
Россия, г.Омск, ул.Учебная, 199-Б, к.408А
Сайт открыт 01.11.2000
© 2000-2018 Промышленная Сибирь

Разработка дизайна сайта:
Дизайн-студия "RayStudio"