|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| УСТРОЙСТВО ДЛЯ ВЫРАЩИВАНИЯ КРИСТАЛЛОВ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ |  |
Номер публикации патента: 2049830 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | C30B025/06 C30B029/04 | | Аналоги изобретения: | 1. Патент Японии N 63-27320, кл. C 30B 29/04, 1984. |
| Имя заявителя: | Акционерное общество "Компакт ЛТД" | | Изобретатели: | Кулинченко В.А.
Масленников В.Г.
Новоселов С.А. | | Патентообладатели: | Акционерное общество "Компакт ЛТД" |
Реферат | |
Сущность изобретения: устройство состоит из камеры для получения парогазовой смеси, вакуумной камеры и разделительного клапана между ними. Эффективность процесса осаждения кристаллов на подложке повышается за счет того, что в канале, соединяющем камеры, размещена форсунка, обеспечивающая формирование газового потока в виде узконаправленного газового факела в направлении подложки, выполненной в виде плоского нагревательного элемента и размещенной в вакуумной камере.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента