|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ ИЗДЕЛИЙ И ПОКРЫТИЙ ИЗ НИТРИДА БОРА |  |
Номер публикации патента: 2042751 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | C30B025/08 C30B025/14 | | Аналоги изобретения: | Вылож. заявка Японии 61-77691, МКИ4 C 04B 1/87, 1986. |
| Имя заявителя: | Институт неорганической химии СО РАН | | Изобретатели: | Демин В.Н.
Левчук С.Г.
Третьяков А.Г. | | Патентообладатели: | Институт неорганической химии СО РАН |
Реферат | |
Изобретение относится к высокотемпературному газофазному осаждению. Устройство содержит реактор с графитовой подложкой внутри, обогреваемый индуктор, снабженный радиационным экраном и газовводом. Подложка размещена внутри радиационного экрана, выполненного из нитрида бора, плотно соединенного с газовводом.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента