RU 2324019 C2, 10.05.2008. JP 2009280463 A, 03.12.2009. JP 2030699 A, 01.02.1990.
Имя заявителя:
Билалов Билал Аругович (RU), Общество с ограниченной ответственностью "АККОРД" (RU), Общество с ограниченной ответственностью "Инновационно-технологический центр "Новые материалы и технологии" (RU)
Билалов Билал Аругович (RU) Общество с ограниченной ответственностью "АККОРД" (RU) Общество с ограниченной ответственностью "Инновационно-технологический центр "Новые материалы и технологии" (RU)
Реферат
Изобретение относится к устройствам для получения твердых растворов карбида кремния с нитридом алюминия, используемых в производстве силовых, СВЧ- и оптоэлектронных приборов, работающих при высокой температуре и в агрессивных средах. Тигель включает графитовый корпус 1 с гранулированным поликристаллическим источником 7, 8, крышку 12, пьедестал 13 и подложки 11, 17. В полости графитового корпуса 1 помещен съемный графитовый контейнер 3 со сквозным цилиндрическим каналом 4 и радиальными отверстиями 5, над контейнером установлена матрица 9 с отверстиями 10 и подложками 11, а полость контейнера 3 герметизируется прокладкой 16, крышкой 12 с резьбовым отверстием и гайкой 2, причем в резьбовое отверстие крышки 12 вкручен пьедестал 13 с глухим отверстием и установленной на его поверхности подложкой 17. Для уменьшения утечки потока тепловой энергии из контейнера в окружающее пространство через крышку и дно корпуса, а также для герметизации внутренней полости тигля от утечки паров засыпки применены прокладки из графитовой фольги - графлекса. Остальные детали выполнены из высокоплотного графита, полученного методом изостатического прессования (например, из графита марки МПГ-9Н). Изобретение обеспечивает повышение производительности труда, экономию материала, более точный контроль температуры подложки, получение в одном технологическом цикле и монокристаллического слитка, и гетероструктур. 1 з.п. ф-лы, 1 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента