На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ФОРМИРОВАНИЯ МНОГОСЛОЙНЫХ СТРУКТУР | ![](Images/non.gif) |
Номер публикации патента: 2175692 | ![](Images/empty.gif) |
Редакция МПК: | 7 | Основные коды МПК: | C30B023/02 C30B025/02 | Аналоги изобретения: | JP 1-197389 A1, 09.08.1989. SU 1574697 A1, 30.06.1990. SU 1736211 A1, 10.02.1997. JP 1-197387 A1, 09.08.1989. FR 2540523 A1, 10.08.1984. |
Имя заявителя: | Северо-Осетинский государственный университет им. К.Л.Хетагурова | Изобретатели: | Бестаев М.В. Гацоев К.А. Горелик А.И. Дегоев М.А. Мошников В.А. Томаев В.В. | Патентообладатели: | Северо-Осетинский государственный университет им. К.Л.Хетагурова |
Реферат | ![](Images/empty.gif) |
Устройство для формирования многослойных структур относится к области технологии полупроводниковых материалов и приборов, а более конкретно к устройствам для нанесения тонких пленок полупроводниковых соединений и твердых растворов на их основе. Технической задачей, решаемой данным изобретением, является создание конструкции контейнера, обеспечивающего увеличение производительности и дающего возможность создавать чередующиеся слои разного состава.
|