На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ | |
Номер публикации патента: 1736211 | |
Редакция МПК: | 6 | Основные коды МПК: | C30B023/02 | Аналоги изобретения: | Авторское свидетельство СССР N 1253186, кл. C 30 B 23/00, 1984. Авторское свидетельство СССР N 1173800, кл. C 30 B 23/00, 1983. |
Имя заявителя: | Государственный оптический институт им. С.И.Вавилова | Изобретатели: | Борисов Б.А. Демиденко А.А. Дунаев А.А. Миронов И |
Реферат | |
Изобретение может быть использовано при получении конструкционных элементов, работающих в инфракрасной области спектра. Цель изобретения - получение композиционных слоистых структур на профильных подложках и повышение их оптического качества, а также увеличение выхода годных структур. Устройство содержит контейнер, внутри которого размещены одна над другой камеры испарения и конденсации. Камера испарения имеет кольцевую форму и снабжена фильтрующим элементом. Между камерами установлен экран-ловушка с углублением, расположенным напротив внутреннего отверстия камеры испарения и имеющим диаметр, превышающий диаметр этого отверстия. На подложкодержателе ниже подложки выполнена кольцевая проточка, служащая для разрыва сплошности покрытия на подложке при охлаждении контейнера, что исключает ее растрескивание. Для этих же целей между подложкодержателем и дном камеры конденсации размещают отражатель из фольги. Получена композиционная слоистая заготовка мениска ZnSe/ZnS. 2 з.п. ф-лы, 1 ил.
|