|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЖИДКОСТНОЙ ЭПИТАКСИИ МНОГОСЛОЙНЫХ СТРУКТУР |  |
Номер публикации патента: 2034938 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | C30B019/06 | | Аналоги изобретения: | 1. Уфимцев В.Б., Акчурин Р.Х. Физико - химические основы жидкофазной эпимаксии, М.: Металлургия, 1983, с.106. |
| Имя заявителя: | Гамазов Александр Александрович | | Изобретатели: | Гамазов А.А. | | Патентообладатели: | Гамазов Александр Александрович |
Реферат | |
Изобретение относится к устройствам для жидкофазной эпитаксии многослойных структур, используемых для производства полупроводниковых приборов. С целью упрощения и расширения пределов управления толщиной выращиваемых эпитаксиальных слоев в кассете, состоящей из основания с подложкодержателем, корпуса с контейнером для растворов-расплавов, контейнеры для растворов-расплавов выполнены в виде цилиндров с кронштейнами, имеющих эксцентрично расположенные щели в донной части, расположенные под углом 45
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента