|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЖИДКОФАЗНОЙ ЭПИТАКСИИ |  |
Номер публикации патента: 1306175 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | C30B019/06 | | Аналоги изобретения: | Авторское свидетельство СССР N 768050, кл. C 30B 19/06, 1979. |
| Имя заявителя: | | | Изобретатели: | Алексанов А.Е.
Галченков Д.В.
Бондарь С.А.
Семенов В.Л. | | Патентообладатели: | Алексанов Алексей Егорович
Галченков Дмитрий Владимирович
Бондарь Слава Андреевич
Семенов Владимир Леонидо |
Реферат | |
Изобретение относится к электронной технике, в частности к устройствам для жидкофазной эпитаксии многослойных полупроводниковых структур, и может быть использовано при производстве светоизлучающих приборов. Целью изобретения является увеличение производительности устройства. Суть изобретения состоит в том, что держатель выполнен многосекционным для вертикального попарного размещения подложек рабочими сторонами друг к другу, контейнер с емкостями для исходных расплавов установлен под держателем, крышка корпуса снабжена выступами для удаления излишков расплава, а толкатели держателя и поршней емкостей жестко соединены между собой. 1 ил.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента