На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ СТРУКТУР НА ОСНОВЕ КРЕМНИЯ | |
Номер публикации патента: 1088417 | |
Редакция МПК: | 6 | Основные коды МПК: | C30B019/02 | Аналоги изобретения: | Лозовский В.Н. Зонная плавка с градиентом температуры. М., Металлургия, 1972, с. 240. Патент США N 3898106, кл. H 01 L 21/208, 1975. |
Имя заявителя: | Новочеркасский политехнический институт им. Серго Орджоникидзе | Изобретатели: | Лозовский В.Н. Даровский Н.И. Зурнаджян В.С. Зурнаджян Л |
Реферат | |
Способ получения структур на основе кремния методом зонной перекристаллизации градиентом температуры, включающий изготовление линейных углублений на поверхности подложки, заполнение их металлом-растворителем и перемещение линейных жидких зон сквозь подложку под действием градиента температуры, направленного перпендикулярно поверхности подложки, отличающийся тем, что, с целью улучшения электрофизических характеристик получаемых структур, через подложку пропускают переменный электрический ток, направление которого параллельно линейным зонам.
|