На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ | |
Номер публикации патента: 2193079 | |
Редакция МПК: | 7 | Основные коды МПК: | C30B015/20 C30B015/22 C30B029/06 | Аналоги изобретения: | ЕР 055619 А2, 07.07.1982. SU 899740 А, 25.01.1982. US 4040895 A.09.08.1977. US 4436577 А, 13.03.1984. JP 57-123887 A, 02.02.1982. |
Имя заявителя: | Ремизов Олег Алексеевич (RU) | Изобретатели: | Ремизов О.А. (RU) ДЖЕЙ Юн Квон (KR) | Патентообладатели: | Ремизов Олег Алексеевич (RU) |
Реферат | |
Область применения: изобретение относится к технологии получения полупроводниковых материалов и может быть использовано при выращивании монокристаллов кремния по методу Чохральского. Сущность изобретения состоит в способе получения монокристаллического кремния, включающем расплавление исходного кремния в тигле, введение затравки, вытягивание кристалла из расплава на вращающуюся затравку, в котором процесс ведут в атмосфере инертного газа, при совпадении направлений вращения тигля и кристалла и пр
|