На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ МОНОКРИСТАЛЛОВ КРЕМНИЯ ПРИ НАРУШЕНИИ МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО РОСТА | |
Номер публикации патента: 2189407 | |
Редакция МПК: | 7 | Основные коды МПК: | C30B015/02 C30B015/20 C30B029/06 | Аналоги изобретения: | SU 1773955 A1, 07.11.1992. SU 231821 A1, 14.12.1971. RU 2042749 C1, 27.08.1995- RU 2054496 C1, 20.02.1996. |
Имя заявителя: | Закрытое акционерное общество "Пиллар" (UA) | Изобретатели: | Берингов Сергей Борисович (UA) Ушанкин Юрий Владимирович (UA) Шульга Юрий Григорьевич (UA) | Патентообладатели: | Закрытое акционерное общество "Пиллар" (UA) |
Реферат | |
Изобретение относится к области получения монокристаллов полупроводниковых материалов и может быть использовано при получении монокристаллов кремния методом Чохральского. Сущность изобретения: способ включает вытягивание слитка из расплава на затравку, отрыв его от расплава, отделение слитка от затравки, подпитку расплава и вытягивание следующего слитка, в котором при вытягивании слитка контролируют морфологию его поверхности и при фиксировании исчезновения или прерывания роста граней монокристал
|