|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ВЫРАЩИВАНИЯ МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО НИТРИДА АЛЮМИНИЯ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ |  |
Номер публикации патента: 2330904 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | C30B023/00 C30B029/38 | | Аналоги изобретения: | RU 2158789 C1, 10.11.2000. US 6045612 А, 04.04.2000. US 5972109 А, 26.10.1999. WO 2005012602 А, 10.02.2005. |
| Имя заявителя: | ООО "НИТРИДНЫЕ КРИСТАЛЛЫ" (RU) | | Изобретатели: | Авдеев Олег Валерьевич (RU)
Базаревский Денис Станиславович (RU)
Макаров Юрий Николаевич (RU)
Савченко Юрий Иванович (RU)
Сегаль Александр Соломонович (RU)
Смирнов Сергей Александрович (RU)
Чемекова Татьяна Юрьевна (RU) | | Патентообладатели: | ООО "НИТРИДНЫЕ КРИСТАЛЛЫ" (RU) |
Реферат | |
Изобретение относится к выращиванию кристаллов из паров, в частности к выращиванию монокристаллов нитрида алюминия конденсацией испаряемого и сублимируемого материала. Способ предусматривает размещение в ростовой камере друг напротив друга подложки и источника паров алюминия, нагрев и поддержание рабочих температур.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента