|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| ПЕЧЬ ДЛЯ ЭПИТАКСИИ КАРБИДА КРЕМНИЯ |  |
Номер публикации патента: 2330128 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | C30B023/00 C30B029/36 | | Аналоги изобретения: | К.-Т.ВИЛЬКЕ. Методы выращивания кристаллов. - Л.: НЕДРА, Ленинградское отделение, 1968, с.294-295. SU 1060851 А, 15.12.1983. SU 748572 А, 15.07.1980. RU 2070611 C1, 20.12.1996. |
| Имя заявителя: | Билалов Билал Аругович (RU) | | Изобретатели: | Билалов Билал Аругович (RU)
Сафаралиев Гаджимет Керимович (RU)
Гитикчиев Магомед Ахмедович (RU) | | Патентообладатели: | Билалов Билал Аругович (RU) |
Реферат | |
Изобретение относится к электротермическому оборудованию и предназначено, в частности, для производства монокристаллов карбида кремния эпитаксией из газовой фазы. Печь для эпитаксии карбида кремния включает водоохлаждаемый корпус с крышкой, нагреватели, тепловые экраны, кристаллизатор со съемной крышкой, смотровое окно, патрубок для вакуумирования, систему водоохлаждения, электропитания и контрольно-измерительную аппаратуру.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента