На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
СПОСОБ НЕЙТРОННО - ТРАНСМУТАЦИОННОГО ЛЕГИРОВАНИЯ КРЕМНИЯ | |
Номер публикации патента: 2008373 | |
Имя заявителя: | Варлачев Валерий Александрович,Солодовников Евгений Семенович | Изобретатели: | Варлачев Валерий Александрович Солодовников Евгений Семенович | Патентообладатели: | Варлачев Валерий Александрович Солодовников Евгений Семенович |
Реферат | |
Использование: в технологии изготовления полупроводниковых материалов для приборов электронной и электротехнической промышленности. Сущность изобретения: для повышения коэффициента использования нейтронов в способе нейтронно - трансмутационного легирования кремния, включающем возвратно-поступательное перемещение контейнеров со слитками кремния через зону облучения по каналу реактора и контроль усредненного по длине слитков флюенса нейтронов до набора требуемого флюенса, одновременно перемещают не
|