|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| КОНТЕЙНЕР ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ ЗАГОТОВОК ИЗ ХАЛЬКОГЕНИДОВ ЦИНКА И КАДМИЯ МЕТОДОМ СУБЛИМАЦИИ |  |
Номер публикации патента: 1690429 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | C30B023/00 | | Аналоги изобретения: | Авторское свидетельство СССР N 1047227, кл C 30 B 23/00, 1981. |
| Имя заявителя: | Государственный оптический институт им. С.И.Вавилова | | Изобретатели: | Борисов Б.А.
Демиденко А.А.
Дунаев А.А.
Миронов И |
Реферат | |
Изобретение относится к технологии получения полупроводниковых кристаллов из газовой фазы. Цель - получение слоистых структур и снижение испарения подложки. Контейнер включает камеру с исходным материалом и подложкой, разделенными пористой перегородкой. Подложка размещена на внутреннем выступе втулки. В выступах выполнены сквозные каналы для подачи паров исходного материала к подложке. Подложка снабжена экраном из жаропрочного и инертного к ней материала. Получена двухслойная заготовка ZnS/ZnSe диаметром 350 мм. Толщина защитного слоя составляет 1,5 - 3 мм. Поверхности подложки не имеют следов испарения. 1 ил.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента