|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ АЛМАЗОПОДОБНЫХ ПЛЕНОК |  |
Номер публикации патента: 1610949 |  |
| Редакция МПК: | 5 | | Основные коды МПК: | C30B023/02 C30B029/04 | | Аналоги изобретения: | 1. Trends Quantum Electron. Proc. |
| Имя заявителя: | Институт теплофизики СО АН СССР | | Изобретатели: | Тарасенко С.Н. | | Патентообладатели: | Институт теплофизики СО РАН |
Реферат | |
Изобретение относится к микроэлектронике, оптике, физике тонких пленок, может быть использовано, например, для получения защитных покрытий зеркал, обеспечивает получение однофазных, бездефектных пленок, стойких к лазерному излучению. Способ включает распыление мишени из графита импульсным ТЕА CO2 - лазером с плотностью мощности излучения 1·107-5·108Вт/cм2. Пары осаждают на подложку, расположенную от мишени на расстоянии не менее 10-5 Торр. Получены прозрачные пленки светло-желтого цвета, толщиной  . Пленки 5 мин выдерживали излучение Nd-лазера средней мощности 104Вт Вт. 1 ил., 1 табл.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента